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IntelliEngine-HAPC
    发布时间: 2019-01-25 12:28    

IntelliEngineTM-HAPC是一套先进制程控制系统(Advanced Process Control)。它是鸿之微集成电路工程解决方案IntelliEngineTM的APC功能模块。

IntelliEngineTM-HAPC是一套先进制程控制系统(Advanced Process Control)。它是鸿之微集成电路工程解决方案IntelliEngineTMAPC功能模块。

 

Run to Run Control

HAPC与晶圆厂的设备自动化系统以及生产执行管理系统深度整合。依据每一次程序执行的结果,动态调整用于下一批次生产设备上的机台程序参数,以消除或减少设备参数漂移等干扰因素对晶圆所造成的影响,提升产品良率。



Beyond Run to Run

在传统的R2R APC的基础上,HAPC引入大数据方法和多重维度网络(Multi Dimension Network),对数据的有效性、生产环境的情况进行更为全面的评估与预测。以得到更加精细和准确的自动控制,提升产品间的一致性,提高产品良率,减少试运行的次数,提高机台的利用率。




IntelliEngine
TM-HAPC
的特点与优势

ü  植入9种不同的MDN模型,根据R2R流程可靠性系数(RQ值)来选择合适的模型策略。

ü  持续可靠的工艺参数输出,减少受工艺数据时效性缩短而间断的流程次数。

ü  有效减少pilot run次数,缩短新产品、新制程的导入周期。有效应对代工厂多种产品交叉生产的相互干扰。

ü  较强的可扩展性,可应于不同的工程控制、工艺设备、交叉模块及流程。

ü  软件定制化服务,根据Fab自身的操作模式与规则提供定制化APC解决方案,支持持续改善和升级。